Alphacen 300

Aveți nevoie de mai multe informații?

Vă rugăm să ne contactați

Formular de contact 

DESCRIERE

Este un sistem AFM pentru probe de dimensiuni  mari de până la 300 mm. Platforma pentru  probă are o dimensiune de 300mmx300mm și poate analiza probe de pana la 45kg.

Se pot efectua analize automate pe serii întregi de produse , iar cu ajutorul soft-ului se face selecția automată, de catre  utilizator, a zonelor de interes , fie pe imaginea optică sau pe suprafața platformei. 

Aproape toate sistemele AFM pot  analiza  probe planare de cca 200mm, de obicei, orientate spre analiza plăcilor de semiconductori. Totuși limitarea este dată de greutatea probei pe care aceste sisteme  o pot analiza. 

Sistemul Alpachen 300 permite o miscare pe axa Z de 50mm , putând astfel analiza  plăcutele  de silicon care nu sunt subțiri. Probele mari și grele sunt foarte comune în optica industrială, de exemplu în producția obiectivelor, industria semiconductorilor,  casete asamblate sau produse finite.

La cererea utilizatorului, platforma poate fi modificată pentru deplasări pe axa X, de până la 500mm.

Mișcare platformei XY are o rezoluție de 1 µm,  iar la repoziționare de 2 µm, ceea ce permite poziționarea precisă a probei sub capul de imagistică.

01
02
03
04
Scaner  
Tipul capului de scanare Varf scaner
Domeniul maxim de scanare  (XY) 100 µm(1)
Domeniul maxim pe axa Z 10 µm(1)
Eroarea liniarității XY < 0.1%
Planeitatea XY la scanarea maximă   typ. 5 nm
Nivelul de zgomot senzor pe axa Z (RMS) typ. 150 pm / max. 200 pm
Nivelul de zgomot senzor pe axa Z
(RMS, modul static în aer)
typ. 100 pm / max. 200 pm
Nivelul de zgomot senzor pe axa Z
(RMS, modul dinamic în aer )
tip. 25 pm / max. 35 pm
Sursa de lumină pentru detecția optică 850 nm SLD coerenta redusa
Zgomotul detectorului DC Detector < 10 pm RMS (0.1 Hz la 1 kHz)
Zgomotul detectorului AC < 60 fm Hz-1/2 peste 100 kHz
Lățimea de bandă a detectorului DC la 4 MHz
(1)Toleranța producătorului:  ± 10%  
Platforma  
Câmpul vizual , vizualizare de sus 5 MP, 1.5 mm x 1.1 mm
Câmpul vizual , vizualizare laterală 5 MP, 3.2 mm x 3.2 mm
Dimensiunea maximă a probei 300 mm x 300 mm x 45 mm
Greutatea maximă a probei 40 kg
Zona vacumată 4’’ / 6’’ / 8’’ / 12’’ placute
Mișcarea motorizată pe XY travel 300 mm x 300 mm
Domeniul apropierii motorizate 50 mm
Dimeniunea sistemului 1008 mm x 1887 mm x 1208 mm (se potriveste pe o deschidere  de  800 mm, inaintea de asamblarea carcasei de izolare acustica)
Greutatea sistemului 833 kg
Rezoluția pe axa  XY < 1 µm
Acuratețea repoziționarii unilaterale 2 µm
Izolarea Acustică ~30 dB peste 250 Hz
Izolatia vibrației Izolarea activa a vibratiilor
Controler  
Ieșire de inaltă rezoluție  (DAC) 12x 28 bit, 1 MHz/prelevare;  4x utilizatori  DAC, ±10V/3dB@200kHz
Ieșire rapidă  (DAC) 4x 16 bit, 100 MHz/prevelare;  1x utilizator  DAC, ±1V/3dB@10MHz
Ieșire de inaltă rezoluție  (ADC) 10x 20 bit, 1 MHz/prevelare; 4x utilizatori ADC, ±10V/3dB@200kHz
Ieșire rapidă  (ADC) 3x 16 bit, 100 MHz/prevelare; 1x utilizator  ADC, ±1V/3dB@10MHz
Analizorul de semnal Analizor pe 2 semnale cu funcție de blocare care poate fi configurat ca un canal dual de blocare
Modulul FPGA  și procesor integrat Sistem cu modul integrat cu intărziere redusă, semnal procesat FPGA la 100MHz și processor dual core ARM, 2GB RAM, 1.5GHz clock
Controlul scanării 28Bit X/Y/Z-DAC with ±10V/3dB@200kHz
Ieșirea detectorului Deflecția/semnal lateral fiecare de  16 bit/3dB@10MHz and 28 bit/3dB@200kHz
Digital sync, Spike-Guard 2-bit linie/cadru  sync out 5 V/TTL izolare galvanică , input Spike-Guard
Sincronizare ceas 10MHz/3V ieșirea ceasului pentru sincronizarea datelor de achiziție și procesare
Comunicare cu PC Gigabit Ethernet, izolată galvanic
Cantilever  
Lațimea min. 20 μm
Lungimea min. 40 μm
Acoperire reflectivă Acoperire reflectiva recomandata
Măsurarea în mediu lichid Da, acoperire cu aur
Porturi de aliniere Nesecar implicit. Există și suporți de cantilevere fără porturi de aliniere
Frecvența de rezonanță în modul dinamic pentru controlerul  Easyscan 2 15 kHz la 350 kHz
Frecvența de rezonanță  în modul dinamic al controlerului  C3000 < 4 MHz
Forma cantileverului Cantilever dreptunghiular singular sau  multistrat ( depinde de capul de scanare si de suportul cantileverului )
Grosimea cipului 300 μm, 500 μm or 600 μm depinde de suportul de cantilever