Elipsometru Auto SE

  • Home
  • Elipsometru Auto SE

Aveți nevoie de mai multe informații?

Vă rugăm să ne contactați

Formular de contact

Descriere

Auto SE este un nou instrument de măsurare a filmului subțire care permite analiza automată completă a probelor de film subțire cu o simplă apăsare a butonului.
Analiza eșantionului durează doar câteva secunde și oferă un raport complet care descrie complet depunerea de film subțire – inclusiv grosimi ale filmului, constante optice, rugozitatea suprafeței și neomogenitățile filmului.
Auto SE este un instrument de înaltă caracteristică care include o etapă automată XYZ, imagistica în timp real a site-ului de măsurare și selectarea automată a dimensiunii spotului. Multe accesorii sunt disponibile pentru a se potrivi cu o gamă largă de aplicații.

Research

Analiza de film subțire a fost ușoară cu rutine automate
Sistem de înaltă caracteristică
Exemplu vizual de probe
Microspot până la 25×60 um
O gamă largă de accesorii

– domeniul spectral: 440-1000 nm
– mărimea spotului: selectare automată, 500×500 µm; 250×500 µm; 250×250 µm; 70×250 µm; 100×100 µm; 50×60 µm; 25×60 µm;
– detecție: CCD, rezoluție 2nm;
– suport de probă: cu ventuze de prindere, în lățime până la 40 mm;
– vizualizare proba: camera CCD camera, 1.33×1 mm , rezoluție 10µm;
– Goniometru: fix la 70°, cu posibilitatea de setare până la 66° și 61.5°;
– timp de măsură <2s, tipic 5s;
– acuratețe: NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002;
– repetabilitate: NIST 15nm ± 0.2 Å.