DESCRIERE
Este un sistem modular, foarte ușor de folosit, care poate îndeplini multe cerințe pentru diverse dimensiuni de probe și aplicații multiple. În combinație cu controller-ul C3000 se pot efectua caracterizări complexe de material. Se efectuează imagini topografice și metrologice, atât în mediu lichid cât și în aer. Pe lângă aceste analize uzuale, Flex Axiom completează aceste caracterizări cu cele electrice sau magnetice sau pentru manipularea probelor.
Flex Axiom – folosește un scanner liniar electromagnetic pentru mișcări XY. Acest scanner oferă o deviație liniară medie de mai puțin de 0.1% pe întreg domeniul de scanare. Mișcarea pe axa Z este acționată piezo, cu un senzor de poziție care oferă o operare în buclă închisă. Un sistem sensibil de detecție cu cantilever poate măsura în domeniul de frecvență MHz. Capul de scanare este conectat la controlerul C3000 pe 24 Bit, cu feedback digital și aplificator cu 2 canale de blocare.
Specificațiile sistemului
| Specificațiile capului de scanare FLEX AFM 5 cu controlerul C3000 controller | Capul de scanare 100µm | Capul de scanare 10µm |
| Dimensiunea probei | Nelimitat cu platforma pentru probă, 100 mm cu platforma pentru probă | |
| Înălțimea maximă a cutiei Petri (nivelul lichidului) | 9 mm (6 mm) | |
| Ajustarea manuală a domeniului înălțimii | 6 mm | |
| Domeniu de apropiere motorizată (la poziția vârfului) | 2 mm | |
| Domeniul scanării maxime (XY) | 100 µm(1) | 10 µm(1) |
| Domeniul înălțimii maxime (Z) | 10 µm(2) | 3 µm(1) |
| Eroarea liniarității XY | < 0.1% | |
| Planeitate XY pe domeniul maxim de scanare | tip. 5 nm | tip. 1 nm |
| Bandă trecere detector | DC – 4 MHz | |
| Nivelul de zgomot al detectorului(RMS) | tip. 60 pm / max. 100 pm (3, 4) | |
| Nivelul de zgomot pe senzorul Z (RMS) | tip. 180 pm / max. 200 pm (3) | |
| Nivelul de zgomot, măsurători pe axa Z(RMS, modul static în aer) | tip. 100 pm / max. 200 pm | |
| Nivelul de zgomot, la măsurătorile pe axa Z (RMS, modul dinamic în aer) | tip. 35 pm / max. 50 pm | |
| Dimensiunea capului de scanare | 413 x 158 x 53 mm | |
| Greutatea capului de scanare | 1.25 kg | |
| (1)Toleranța producatorului ± 5% (2)Toleranța producatorului ± 10% (3)Măsurători la 2 kHz (4) Măsurări cu cantilever XYContr |
||
|
Controler C3000 — Specificatii hardware |
|
|
Scanare si poziția controlerului pe axele X/Y/Z |
3× 24-bit DAC (200 kHz) |
|
Poziția măsurătorilor pe axele X/Y/Z |
3× 24-bit ADC (200 kHz) |
|
Excitația și modulația pe ieșiri |
4× 16-bit DAC (20 MHz) |
|
Bandă trecere intrare semnal analog |
0–5 MHz |
|
Capturarea semnalului principal de intrare |
2× 16-bit ADC (20 MHz) |
|
Procesor incorporat si modul FPGA |
ALTERA FPGA, |
|
Comunicarea |
USB 2.0 Hi-Speed la PC și interfață cap scanare |
|
Ceas sistem |
Frecvență internă (10 MHz) sau ceas extern |
|
Putere |
90–240 V AC, 70 W, 50/60Hz |
| Cantilever | |
| Lățimea | min. 20 μm |
| Lungimea | min. 40 μm |
| Acoperirea reflexivă | Acoperire reflexivă recomandată |
| Măsurători în lichid | Da, cu acoperire cu aur |
| Porturi de aliniere | Obligatoriu implicite. Sunt diponibili și suporți de probă fară porturi de aliniere. |
| Frecvența de rezonanță în modul dinamic pentru contoler Easyscan 2 | 15 kHz to 350 kHz |
| Frecvența de rezonanță în modul dinamic pentru controller C3000 | < 4 MHz |
| Forma cantileverului | Cantilever dreptunghiular singular sau multiplu (depinde de versiunea capului de scanare și de suportul de probă) |