Verifire HDX

Aveți nevoie de mai multe informații?

Vă rugăm să ne contactați

Formular de contact 

DESCRIERE

Inteferometrie de rezolutie ultra-inalta pentru caracterizarea freventelor spatiale medii  

Noul interferometru Verifire HDX este proiectat si construit pentru caracterizarea frecventelor spatiale medii ale sistemelor optice si componentelor cu performante extreme.  Sistemul include toate avantajele sistemului popular Verifire HD – precum QPSI, un laser stabilizat de mare putere – si adauga imbunatatiri importante precum capabilitati de imagistica si rezolutie nemaintalnite pentru functia de transfer a instrumentului (ITF), caracterizare superioara a continutului de frecvente spatiale medii si deviatii de suprafata cu panta mare precum si tehnica de achizitie dinamica patentata ZYGO DynaPhase® (optional) care elimina problemele  datorate vibratiilor si permite astfel masuratori metrologice de precizie in practic orice mediu. 

Proiectat pentru rezolutie si performanta optime

Sistemul Verifire HDX are un design optic novativ proiectat special pentru a mentine performanta limitata de pixeli  pentru senzorul sau 3.4k x 3.4k (11.6 megapixeli); aceasta imagistica imbunatatita releva caracteristici de suprafata care pana acum erau greu de discernut interferometrele cu rezolutie mai joasa. Rezolutia ultra-spatiala nu vine cu pretul vitezei de achizitie. Sistemul opereaza la o freceventa de 96 Hz, la rezolutie maxima – cu pana la de 10X mai rapid decat orice alt interferometru de rezolutie inalta care poate avea o capabilitate limitata datorita zgomotului favorizat de o masuratoare mult mai lenta. 

Instrumentele de Densitate Spectrala de Putere (PSD) si analiza difractiei insumeaza capabilitatea de caracterizare a frecvenelor spatiale medii  ale sistemului Verifire HDX, si releva caracteristicile de suprafata printr-o interfata simpla si intuitiva.  

Optica de referinta

UltraFlat™ standarde de transmisie recomandate a fi folosite cu interferometrul Verifire HDX pentru o performanta maximala. Acestea sunt certificate la λ/40 PVr sau mai bine. Aceasta optica de referinta de mare precizie este proiectata sa functioneze atat in orientare verticala cat si orizontala, ceea ce aduce mai multa flexibilitate in setulul de testare.  

Software Mx™

Software-ul de analiza patentat ZYGO's Mx™ ofera o gama larga de caracteristici functionale si instrumente pentru analiza datelor  incluzand Zernike, pante, PSD/MTF/PSF, unghi de prisma, colt de cub, si multe altele. Acest pachet software de control al instrumentului, achizitie de date si analiza include si modulele de integrare in procesele de productie.

Functia de transfer – Ce este si de ce Este importanta

Suprafetele optice au fost caracterizate pentru erori de mai multi ani dar o data cu cresterea cerintei de performanta a crescut si importanta controlului caracteristicilor frecventelor spatiale medii (MSF). Acest control este necesar pentru reducerea luminii imprastiate si pentru imbunatatirea eficientei optice pentru aplicatii extreme

Moduri achizitie

PSI – Interferometrie cu shiftare temporala de faza

QPSI – Interferometrie cu shiftare de faza in conditii de vibratie

DynaPhase™ – Interferometrie instantanee insensibila la vibratie

(optiune)

Sistem aliniere

Sistem de achizitie rapid al franjelor (QFAS)

Cu reticul cu spot dublu

Diametru fascicul test

4 inch (102 mm) sau 6 inch (152 mm)

Camera

Rezolutie: 1200 x 1200 pixeli

Frecventa cadre: 160 Hz

Digitizare: 8 bit

Timp achizitie

81 – 188 ms (PSI, QPSI)

RMS Repetabilitate

<0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

RMS Repetabilitate front de unda

<0.35 nm, λ/1,800 (mediere + 2 σ)

Deviatie peak pixel

<0.5 nm, λ /1,200 (99.5th %)