SPIN150I ≤ Ø150MM

  • Home
  • SPIN150I ≤ Ø150MM

Aveți nevoie de mai multe informații?

Vă rugăm spă ne contactați

Formular de contact 

DESCRIERE

Echipamentele sunt de înaltă calitate și sunt concepute special pentru zona de cercetare și microproducție în domeniile precum: MEMS, industria semiconductoare, PV, Microfluide, etc. Sistemul este adaptat pentru toate procesele de tip spin coating: curățare, clatire / uscare, developare, acoperire și gravare.

Spin coater-ul SPIN150i este un sistem cu un cost redus, potrivit pentru prelucrarea fragmentelor de 5 mm până la Ø150 (6 “) sau 4″x4”. Panoul de comanda este detașabil. Softul permite programe de stocare nelimitate pentru rețete cu pași multipli (rotații CW & CCW pentru aplicațiile de acoperire prin centrifugare).

Modele disponibile: Table Top, Integrator, NPP si PTFE
Modelul Table Top utilizat cu injecția manuala, sau opțional automata, a substanțelor în camera de procesare. Este fabricat din polipropilena (NPP), fără sudură, opțional din teflon (PTFE). Sistemul include un suport de vacuum și un adaptor pentru fragmente.
Varianta Integrator poate fi ușor adaptată la sistemul dumneavoastră de tip “wetbench”. Disponibil în doua variante: polipropilena (NPP) sau teflon PTFE. Include un suport de vacuum și un adaptor pentru fragmente.

01
02
03
04

Număr disponibil de programe nelimitat *
Pași per program nelimitat *
Viteza de rotatie * 1 – 12.000 rpm ** ± 1 rpm
Precizia vitezei de rotație ± 0,1 rpm **
Direcția de rotație în sensul acelor de ceasornic, în sens invers acelor de ceasornic, alternativ
Accelerație maxima 30.000 rpm / sec **
Timp rotatie nelimitat *, ± 0,1 pași secunde
Ieșiri programabile libere 3 relee, capacitate nominală de comutare 0,5A / 125VAC – 0,3A / 60DC

Date despre sistem
Material carcasa Polipropilenă naturală (NPP) ***
Material camera de procesare Polipropilenă naturală (NPP) ***
Interfață Ecran tactil detașabil, de dimensiuni mari, utilizabil si cu manusi, rezistent la substanțe chimice, IP52,
Conexiune externă 1 Port USB în controler
Diametru substrat maxim 160mm rotund sau 4’’x 4’’ pătrat
Diametrul maxim al camerei de procesare 202 mm
Dimensiuni (versiunea desktop) 274 x 250 x 451 mm
Greutate pentru transport 14 kg
Dimensiune pentru transport 600 x 380 x 360 mm

Cerinţe
Voltaj 100 – 120 VAC / 200 – 240 VAC 50/60 Hz (selectare automată)
Consum de energie Max. 500 W
Curent Max. 5A / 2,5A
Vacuum – 65 kPa (-19 inchHg), ≥ 80 lpm Tub OD 8mm
Gaz de curatare 20 – 50 kPa, 2-5 l / min, Tub OD 6 mm
Conexiune Scurgere 1 “M-NPT