Statie de procesare pentru acoperire si developare

  • Home
  • Statie de procesare pentru acoperire si developare

Aveți nevoie de mai multe informații?

Vă rugăm să ne contactați

Formular de contact 

DESCRIERE

Statiea de procesare POLOS este o platforma versatilă pe care o puteți folosi pentru o gamă largă de procese. Sistemul este bazat pe dispozitivele de tip spin coater POLOS de o calitate superioară. Designul modular al sistemului oferă un excelent raport calitate-pret, o construcție completă din plastic, cu componente high-end, compatibilă cu orice mediu chimic și potrivit pentru cerințele dumneavoastră specifice.
Aplicații: curațare substraturi / fotomaști, acoperiri fotorezistente, developare, gravare și procese lift-off.

Acoperire si developare
Sistem complet integrat cu camere duble de spin pentru un proces de acoperire și developare în condiții de siguranța și curațenie.

Soluție integrata într-un singur sistem compact:
• Carcasă confecționată complet din polipropilenă naturală (NPP) cu grosimea peretelui de 20mm
• Cameră inchisă cu capac transparent pentru un control facil al procesului
• Pistoale de pulverizare cu azot și apă deionizata pentru a facilita curățarea camerei
• Senzor de siguranță pentru detectarea scurgerilor
• Sistem de monitorizare a prezentei gazelor

Sistem de acoperire echipat cu:

• Pompă pentru dozaj complet automată
• Braț de injecție mobil, sincronizat cu viteza de rotație pentru o uniformitate maximă pe suprafața întregului substrat
• Sistem ajustabil pentru îndepărtarea fina a marginilor
• Azot uscat, opțional, disponibil prin capac sau braț mobil
• Motorul fără perii controlat digital cu control precis al vitezei și accelerație selectabil pe etapă de rețea
• Azot injectat prin capac sau prin brațul mobil
• Motorul fără perii controlat digital cu control precis al vitezei și accelerație selectabilă pentru fiecare etapă a procesului

Sistem de developare echipat cu:

• Sistem de pulverizare complet automatizat, cu dublă linie de control
• Unitate HD potrivită pentru economisirea substanțelor chimice pentru developare
• Substanțe injectate prin vasul de injecție
• Fețele substratului sunt clătite cu apă deionizată cu debit reglabil manual
• Sistem combinat pentru clătire și curățare în aceeași camera de procesare
• Linie de scurgere selectabilă cu rezervor integrat pentru colectarea deșeurilor

Specificații:
Număr disponibil de programe 999
Pași per program 100
Viteză de rotație * 1 – 10.000 rpm ** ± 1 rpm
Precizia vitezei de rotație ± 0,1 rpm **
Direcția de rotație în sensul acelor de ceasornic, în sens invers acelor de ceasornic, alternativ
Accelerație maxima 30.000 rpm / sec
Acuratețea accelerației ± 0,1 rpm / sec
Acuratețea citirii vitezei de rotație ± 0,1 rpm

Date despre sistem
Interfața Tastatură și afisaj LCD, rezistente la substanțe chimice, IP50
Model rezervor 2x rezervor de proces, material NPP, volum efectiv de 10 L
Accesorii pistol de pulverizare apă deionizată, pistol de pulverizare N2, tubulatura vid, indicatoare de lumina frontale
Diametrul camerei 402 mm
Dimensiune (versiune desktop) 1400 x 1600 x 950 mm
Sisteme de siguranță Senzor detecție scurgeri, senzor pentru evacuare, supapa alimentare cu sistem de inchidere

Elemente de siguranță:
Pentru a proteja utilizatorii, camera de proces este deschisă automat și suportul este ridicat – pentru o manevrare mai ușoară și mai sigură a substratului. Acest lucru elimină orice posibil contact între operator și eventualele suprafețe contaminate chimic. Se pot programa atât secvențele de clătire manuală, cât automată ale camerei, permițând că toate suprafețele contaminate să fie ușor neutralizate – chiar și după o întrerupere a alimentării electrice. Sistemul automat de alimentare cu substanțe chimice și sistemul de drenaj / evacuare / exaustare sunt integrate în sistem pentru a asigura o funcționare sigura. Garniturile, blocurile de siguranțe monitorizate, senzorii de alarma, monitorizarea vidului, protecția la suprasarcină a motoarelor și comutatorul de urgență asigură cele mai înalte standarde de siguranță.