Statie de procesare pentru gravare

  • Home
  • Statie de procesare pentru gravare

Aveți nevoie de mai multe informații?

Vă rugăm să ne contactați

Formular de contact 

DESCRIERE

Stația de procesare POLOS este o platformă versatilă pe care o puteți folosi pentru o gama largă de procese. Sistemul este bazat pe dispozitivele de tip spin coater POLOS de o calitate superioară. Designul modular al sistemului oferă un excelent raport calitate-preț, o construcție completă din plastic, cu componente high-end, compatibilă cu orice mediu chimic și potrivit pentru cerințele dumneavoastră specifice.

Aplicații: curațare substraturi / fotomaști, acoperiri fotorezistente, developare, gravare și procese lift-off.

Sistem automat de gravare: – Sistem pentru gravarea centrifugală cu debit și raport de amestec controlat

• Braț pentru injecție cu mai multe linii de injecție și pulverizare
• Unitate HD potrivită pentru economisirea substanțelor chimice
• Debit și raport de amestec programabil, foarte precis
• Potrivit pentru injecția statică sau dinamica pe suprafață substratului
• Sistem injecție azot prin capac sau prin brațul mobil, disponibil opțional
• Fețele substratului sunt clătite cu apa deionizată
• Ciclul obligatoriu de siguranță pentru neutralizarea camerei la pornirea unității
• Camera de procesare submersibilă pentru prelucrarea în siguranță a substanțelor chimice periculoase
• Echipat cu rezervoare de procesare de 10 litri din PTFE pentru depozitarea și pregatirea chimică
• Disponibil cu sistem de umplere automat sau manual
• Disponibil în mod opțional cu sistem de încalzire de 3,5kW pentru rezervorul de procesare.
• Incința sistemului confecționată din polipropilena naturală (NPP)
• Folosit pentru substraturi de până la Ø 200 mm

Specificații:
Număr disponibil de programe 999
Pași per program 100
Viteză de rotație * 1 – 10.000 rpm ** ± 1 rpm
Precizia vitezei de rotație ± 0,1 rpm **
Direcția de rotație în sensul acelor de ceasornic, în sens invers acelor de ceasornic, alternativ
Accelărație maximă 30.000 rpm / sec
Acuratețea accelerației ± 0,1 rpm / sec
Acuratețea citirii vitezei de rotație ± 0,1 rpm

Date despre sistem
Interfață tastatură și afisaj LCD, rezistente la substante chimice, IP50
Model rezervor 2x rezervor de proces, material NPP, volum efectiv de 10 L
Accesorii pistol de pulverizare apa deionizată, pistol de pulverizare N2, tubulatură vid, indicatoare de lumina frontale
Diametrul camerei 302 mm
Dimensiune (versiune desktop) 1400 x 1600 x 950 mm
Sisteme de siguranță senzor detecție scurgeri, senzor pentru evacuare, supapă alimentare cu sistem de închidere