Statii de procesare pentru curatare

  • Home
  • Statii de procesare pentru curatare

Aveți nevoie de mai multe informații?

Vă rugăm să ne contactați

Formular de contact 

DESCRIERE

Statiea de procesare pentru curatare este o platforma versatila pe care o puteti folosi pentru o gama larga de procese. Sistemul este bazat pe dispozitivele de tip spin coater POLOS de o calitate superioara. Designul modular al sistemului ofera un excelent raport calitate-pret, o constructie completa din plastic, cu componente performante, compatibile cu orice mediu chimic si potrivit pentru cerintele dumneavoastra specifice.
Integrarea fara probleme a sistemului spin coater produs din NPP (polipropilena naturala) sau optional PTFE va permite sa lucrati cu tipuri variate de produse chimice. Pot fi integrate diverse module de spin coater si controlate din unitatea centrala pentru furnizarea de substante chimice si gaze.
Sunt disponibile configuratii standard pentru: curatarea substraturilor, precum si pentru foto-masti, depuneri straturi foto-rezistente, developare, gravare si procese lift-off.

Curatare cu presiune inalta si curatare megasonica
Sistem de tip spinning pentru curatare si uscare :
• Carcasa confectionata complet din polipropilena naturala (NPP)
• Brat mobil liniar pentru pulverizarea directa catre suprafata substratului, cu jeturi de mare presiune si cu jeturi megasonice.
• Epurator integrat de inalta presiune pâna la 200 de bari
• Vârfurile de pulverizare interschimbabile de inalta presiune, prezinta muchii de pulverizare concepute pentru a asigura o acoperire uniforma
• Echipat cu sistem megasonic de curatare, cu debit si putere ajustabile.
• Sistem de spalare cu apa calda deionizata cu sistem de incalzire de 3,5kW PFA, potrivit pentru fluide de inalta puritate.
• Partea superioara a substratului si partea inferioara se clateste cu ajutorul sistemului cu apa deionizata
• Sistem injectare CO2 integrat
• Azot injectat prin capac sau prin bratul mobil
• Pentru substraturi pâna la Ø 300 mm
• Camera de procesare inchisa, cu capac transparent pentru un control facil al procesului
• Algoritmi usor de configurat, programabili pas cu pas, cu urmatoarele setari:
• Activarea pompei de inalta presiune
• Activarea megasonica si nivelul intensitatii de iesire reglabile pe fiecare pas
• Clatire cu apa calda deionizata (Temperatura reglabila pentru fiecare reteta in parte)
• Timp 1-999 sec / pas
• Viteza 1-10.000 rpm
• Acceleratie / decelerare 1-30.000 rpm / sec

Specificatii:
Număr disponibil de programe 50
Pași per program 100
Viteza de rotatie * 1 – 10.000 rpm ** ± 1 rpm
Precizia vitezei de rotație ± 0,1 rpm **
Direcția de rotație în sensul acelor de ceasornic, în sens invers acelor de ceasornic, alternativ
Accelerație maxima 30.000 rpm / sec
Acuratetea acceleratiei ± 0,1 rpm / sec
Acuratetea citirii vitezei de rotatie ± 0,1 rpm

Date despre sistem
Interfata Tastatura si afisaj LCD, rezistente la substante chimice, IP50
Model rezervor 2x rezervor de proces, material NPP, volum efectiv de 10 L
Accesorii pistol de pulverizare apa deionizata, pistol de pulverizare N2, tubulatura vid, indicatoare de lumina frontale
Diametrul camerei 402 mm
Dimensiune (versiune desktop) 1400 x 1600 x 950 mm
Sisteme de siguranta Senzor detectie scurgeri, senzor pentru evacuare, supapa alimentare cu sistem de inchidere

Elemente de siguranta:
Pentru a proteja utilizatorii, camera de proces este deschisa automat si suportul este ridicat – pentru o manevrare mai usoara si mai sigura a substratului. Acest lucru elimina orice posibil contact intre operator si eventualele suprafete contaminate chimic. Se pot programa atat secventele de clatire manuala, cat automata ale camerei, permitand ca toate suprafetele contaminate sa fie usor neutralizate – chiar si dupa o intrerupere a alimentarii electrice. Sistemul automat de alimentare cu substante chimice si sistemul de drenaj / evacuare / exaustare sunt integrate in sistem pentru a asigura o functionare sigura. Garniturile, blocurile de sigurante monitorizate, senzorii de alarma, monitorizarea vidului, protectia la suprasarcina a motoarelor si comutatorul de urgenta asigura cele mai inalte standarde de siguranta.