DESCRIERE
Sistemul de tip spin coater POLOS Advanced 300 este destinat procesării fragmentelor cu dimensiuni de până la Ø300mm / 12″ (sau substraturi de Ø360 mm) sau substraturi pătrate de 8 “x 8”. Unitatea este de asemenea disponibilă ca modul pentru integrarea în alte sisteme.
Sistemele POLOS Advanced sunt sisteme de tip spin coater, foarte versatile, folosite pentru o gamă largă de procese, inclusiv developarea sau gravarea. Unitățile sunt complet customizate pentru a răspunde cerințelor clienților.
În mod opțional, sunt disponibile multiple seturi de capace și mai multe linii de injecție a substanțelor chimice. Include un suport de vacuum.
APLICAȚII TIPICE PENTRU POLOS 300 SPIN COATER:
USCARE
CLINIRE / CURĂȚARE
ACOPERIRE AUTOMATĂ
Specificații:
Număr disponibil de programe nelimitat *
Pași per program nelimitat *
Viteză de rotație * 1 – 12.000 rpm ** ± 1 rpm
Precizia vitezei de rotație ± 0,1 rpm **
Direcția de rotație în sensul acelor de ceasornic, în sens invers acelor de ceasornic, alternativ
Accelerație maxima 30.000 rpm / sec **
Timp rotație nelimitat *, ± 0,1 pași secunde
Ieșiri programabile libere 3 relee, capacitate nominală de comutare 0,5A / 125VAC – 0,3A / 60DC
Date despre sistem
Material carcasa Polipropilena naturala (NPP) sau PTFE (TFM) ***
Material camera de procesare Polipropilena naturala (NPP) sau PTFE (TFM)
Interfață Ecran tactil detașabil, de dimensiuni mari, utilizabil și cu manusi, rezistent la substanțe chimice, IP52,
Conexiune externă 1 Port USB în controler
Diametru substrat maxim 360 mm rotund sau 8’’x 8’’ pătrat
Diametrul maxim al camerei de procesare 402 mm
Dimensiuni (versiunea desktop) 430 x 310 x 650 mm
Greutate pentru transport 32 kg
Dimensiune pentru transport 780 x 620 x 580 mm
Cerinţe
Voltaj 100 – 120 VAC / 200 – 240 VAC 50/60 Hz (selectare automată)
Consum de energie Max. 1800 W
Curent Max. 10A / 8A
Vacuum – 80 kPa (-24 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD Ø8mm
Gaz de curățare 20 – 50 kPa, 2-5 l / min, Tub OD 6 mm
Conexiune Scurgere 1 “M-NPT